晶圆点胶机
高精度高稳定性点胶设备：可切换8/12寸晶圆，适用于多种工艺及特定工作流程
点胶设备,高精度,高稳定性,8/12寸晶圆,底部填充点胶,边缘密封,围堰,切割道密封,工作流程,晶圆搬运
该设备具备显著性能优点，XY轴用U型直线电机，重复精度≤±2μm，一体铸造成型机架吸震性好、可靠性高，简单配置可切换8/12寸晶圆。主要用于底部填充等多种工艺，工作流程涵盖FOUP装载、晶圆搬运、预热、点胶、冷却等环节，能高效完成点胶作业。
